真空炉检修后，需要对真空炉进行干燥，并对真空炉进行真空检漏。在真空炉干燥前，可用1000V兆欧表测试真空炉的绝缘，通常不小于2mΩ。真空炉的干燥分为三个阶段：

① 排湿周期为O~200℃，即真空炉保温层中水分和真空炉体中水分的排湿周期。需要检查真空炉的真空度，保温时间长。

② 真空炉排气量大的温度区一般在500℃左右。由于真空炉排气量大，此时温升不得超过50℃/h，保温时间一般在60分钟以上。

③ 保温期约为1200℃。加热时每升高100~200℃保温一段时间。升温过快容易损坏保温层，导致真空炉排气不充分。

（1） 编制真空炉使用维护操作规程，建立真空炉运行记录和维修档案，统计运行累计工时，加强真空炉日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，尽快发现故障和损坏迹象，避免事故抢修的维修，根据真空炉的工作负荷和运行状态，提前准备好真空炉维修备件，编制真空炉运行维护计划。例如，真空炉加热元件的使用寿命与许多因素有关，如工作温度、真空炉中的产品介质、产品数量和操作。在每天24小时加工和生产的情况下，真空炉的加热元件和隔热板大约每两三年更换一次。这取决于钎焊工作的类型和使用时间。真空炉在春季和秋季通常有许多泄漏故障。

在真空系统检漏中，除临时应急维修用真空泥浆外，如果有氦质谱检漏仪，可用氦质谱检漏仪进行真空检漏。如果没有氦质谱检漏仪，可以用医用针头吸入乙醚，并将其射在可疑的泄漏点，以观察真空计的读数是否发生变化。还可以制作带有真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管道进行检漏。定期检查真空泵油位和罗茨泵密封圈（如果发现真空泵的油位和罗茨泵的密封圈恶化，应定期检查真空泵的油位，并且需要每周更换一次罗茨泵的油和密封圈的质量）。扩散泵油扩散泵有积碳，可通过化学酸洗进行清洗。

（2） 真空炉维修后，在使用初期应经常检查。检查真空炉表使用后的温度是否与炉内实际温度一致（定期校验和校准真空表、温控器、热电偶、电压表、电流表），检查三相加热器是否有过热损坏、温度不均或发白现象。对于三相高温真空炉，当真空电阻炉容量超过100kW时，应在每相和每个加热区域安装电流表。发现真空炉温度及仪表指示异常，应及时分析处理。

（3） 真空炉不能超载。真空炉的很高使用温度是指真空中元件的允许表面温度，而不是加热材料的温度或加热元件周围的温度。需要注意的是，真空电热元件本身的温度比周围介质温度或加热温度高100℃。