真空炉检漏主要有两种方法：喷射法和吸嘴法。注入法是一种传统的泄漏检测方法。将炉内真空，在炉外加氦（如连接氦质谱仪），然后观察结果。另一种方法是吸嘴检测法，适用于测试对象无法抽真空的情况。使用此方法时，需要向被测对象中填充泄漏气体（如氦气）。检测对象包括水冷却器、水冷却器、给水器等。当检测对象充满泄漏气体时，使用传感器检查外部是否有气体泄漏。氦质谱仪也可用于这种检测方法。

惰性气体泄漏检测也很重要。这是因为整个补给系统（从液化气储存系统到真空炉）的泄漏率需要为零。如果惰性气体从供气系统或炉体上的气阀泄漏，真空炉将出现错误的迹象，如抽气效果差、密封性差、极限真空度差、难以正常排气、回流等。

惰性气体泄漏也有两种常见的检测方法，即薄膜（肥皂泡）泄漏检测和真空泄漏检测。一般来说，薄膜检漏法是很简单、很快的高压惰性气体检漏方法。在已知可疑区域喷洒泄漏指示液。如果在任何检查部位产生气泡，则可以知道发现泄漏。

真空检漏是一种更精确的方法。将液氮或液态氩储存系统与真空炉分离，确保整个系统处于真空状态，然后使用氦质谱仪检查系统的泄漏情况。进行真空检漏时，应：

1.关闭外部气阀，断开外部液气系统与蒸发器、补给储罐、真空炉及所有配套的减压和补给管线的连接。

2.使用真空炉的正常抽气系统对炉进行真空。

3.给补给储罐减压。

4.手动打开炉体上的补给阀，打开补给阀。该步骤应由经验丰富的专家按照安全规定执行。

一旦打开再充气阀并将再充气罐减压至大气压，真空炉开始从管道中提取气体。从储气罐和蒸发器到关闭的外部气阀，气体将被泵出。然后，可以使用真空炉的排气系统对整个补给系统进行排气，使整个系统达到真空状态。接下来，你应该使用氦质谱仪来检测系统中的泄漏。

在完成真空炉和惰性气体的所有泄漏检测后，需要逐个消除泄漏。真空炉设备是否漏气，可根据真空炉的升压率指标确定；应提醒的是，在测试压力上升率时，需要关闭真空泵，并在室温下进行测量。测量压力上升率的过程复杂且耗时。集成式氧探头可直接测量真空炉中的氧含量。